Küte tühjuses: kassettkütteseadmetega vaakumkütte spetsialiseerunud maailm

May 01, 2019

Jäta sõnum

Vaakumpahjud, pooljuhtide töötlemise seadmed ja degaseerimisahjud töötavad keskkonnas, mis on põhiliselt vaenulik tavaliste elektrikomponentide suhtes: kõva vaakum või kontrollitud atmosfäär. Tavalised tõrked ei ole siin mitte ainult läbipõlemine, vaid gaasi väljavool, kaar ja saastumine, mis võib rikkuda kogu protsessipartii. Vaakumteenuse jaoks ühe kassettküttekeha valimine nõuab väljakutsetega tegelemist, mis ei ole atmosfäärirakendustes olulised, mistõttu on oluline spetsiaalne projekteerimine ja ehitus.

Vaakumkeskkond välistab konvektiivse soojusülekande; soojus saab liikuda ainult kiirguse ja juhtivuse kaudu. See tähendab, et küttekehad peavad sageli töötama väga kõrgel ümbrisetemperatuuril, et kiirata töökoormusele piisavalt energiat. Järelikult on ümbrise materjali valik esmatähtis. Materjalidel peab olema madal aururõhk, et minimeerida vaakumis metalli sisse jäänud gaaside eraldumist-. Need eralduvad gaasid võivad saastada protsessikambrit ja halvendada vaakumi taset. Kõrge -puhtusastmega tulekindlaid metalle, nagu molübdeen, volfram või spetsiaalsed sulamid, kasutatakse nende kõrge sulamistemperatuuri ja minimaalsete gaasieraldusomaduste tõttu sageli kõrgel temperatuuril{7}}vaakumrakendustes.

Teine oluline tegur on küttekeha sees olev magneesiumoksiidi (MgO) isolatsioon. Standardne MgO pulber sisaldab niiskust ja orgaanilisi sideaineid, mis eralduvad vaakumis ohtralt. Vaakum-kassettkuumutite puhul peab MgO olema kõrge-puhtusastmega, keemiliselt stabiliseeritud ja läbima tootmise ajal range "väljaküpsetamise" protsessi. See eelkonditsioneerimine eemaldab lenduvad saasteained, stabiliseerides kütteseadme hoolduseks. MgO tihendustihedust suurendatakse ka nii soojusjuhtivuse kui ka dielektrilise tugevuse suurendamiseks vaakumis.

Plii väljapääsu disain on ohutuse ja terviklikkuse jaoks ülimalt oluline. Punkt, kus isoleeritud juhtjuhtmed väljuvad suletud ümbrisest, on potentsiaalne lekketee. Vaakum-soojendid kasutavad spetsiaalselt konstrueeritud ja keevitatud keraamilisi-metallist-või kõrgtemperatuuri-epoksiidtihendeid, mis taluvad termilist tsüklit ja takistavad atmosfääri sissetungimist või sisemist gaasi väljavoolu juhtmete kaudu. Vale hermeetiku või sulgemismeetodi kasutamine põhjustab kroonilisi vaakumilekkeid.

Muutub ka elektriline disain. Madala rõhu korral võivad standardsed pinged põhjustada jääkgaaside ioniseerumist ja potentsiaalselt põhjustada elektrikaare tekkimist üle klemmide või ahju seina. Selle vältimiseks võivad kütteseadmed ja nende ühendused olla projekteeritud kõrgema pinge jaoks või neil peab olema spetsiaalsete vahedega ja isoleeritud klemmid. Ka vaakumkambri sees olevate toitejuhtmete marsruutimine ja isolatsioon tuleb hoolikalt planeerida.

Praktikas on vaakumi jaoks mõeldud kassettkütteseade täppiskomponent. See ei ole valmistoode, vaid kohandatud-osa, mis on ehitatud konkreetsete materjalide, protsesside ja testimisprotokollidega. Sellised parameetrid nagu maksimaalne töötemperatuur, vaakumi tase (toorvaakumist kõrgvaakumini või UHV) ja atmosfäär (kas puhas vaakum või inertgaas, nagu argoon või lämmastik) peavad olema selgelt määratletud. Küttekeha jõudlus on kogu süsteemi puhtuse ja töökindluse lahutamatu osa.

Vaakumsüsteeme projekteerivate inseneride jaoks tuleks küttelahendust pidada põhiallsüsteemiks. Olulise tähtsusega on suhe vaakumtehnoloogia alal kogenud tootjaga juba projekteerimisetapi alguses. Need võivad anda juhiseid materjali valiku, võimsuse koormuse ja mehaanilise integreerimise kohta, tagamaks, et küttekehad aitavad kaasa puhta, stabiilse ja korratava protsessikeskkonna loomisele, kus saastumine ja planeerimata hooldus on minimeeritud.

Küsi pakkumist
Võtke meiega ühendustkui on küsimusi

Võite meiega ühendust võtta telefoni, e-posti või alloleva vormi kaudu. Meie spetsialist võtab teiega peagi ühendust.

Võtke kohe ühendust!